专利详情

专利名称	用于纳米级位移系统的纳米扫描台
申请号	CN200920187553.7	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN201518227U	公开（授权）日	2010.06.30
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	王克逸;吴云良;张兴华;郝鹏
主分类号	G12B21/20(2006.01)I	IPC主分类号	G12B21/20(2006.01)I
专利有效期	用于纳米级位移系统的纳米扫描台至用于纳米级位移系统的纳米扫描台	法律状态	授权
说明书摘要	本实用新型涉及用于扫描探针显微镜的纳米扫描台，其包括安装于矩形底板上的扫描台支架，纳米扫描台内设有柔性铰链；柔性铰链为四棱短管状，其每一侧壁均为由内侧壁和外侧壁组成的夹层薄壁，每一侧外侧壁均通过细杆连接着内套筒外端，内套筒内侧连接着压电陶瓷管，压电陶瓷管的另一端连接着外套筒内侧，外套筒的外端连接着扫描台支架，且四根压电陶瓷管均布在扫描台的两个对角线方向的四个角处；柔性铰链的轴向顶面连接着样品台。本实用新型不但保留了传统结构中径向(XY方向)的大扫描范围，更扩大了轴向(Z向)的移动范围；其结构简单，体积小，易于封装；同时也能用于各种需要纳米级位移的系统中。