专利详情

专利名称	一种投影物镜波像差检测装置及方法
申请号	CN201210154523.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102681365A	公开（授权）日	2012.09.19
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	刘志祥;刘学峰;吕保斌;陈红丽;甘大春;何毅
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	一种投影物镜波像差检测装置及方法至一种投影物镜波像差检测装置及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种投影物镜波像差检测装置及方法，光源发出的光线均匀照明在投影物镜物面上，散射板和针孔安装在掩模台上，针孔位于投影物镜的物面，通过掩模台移动进行视场选择，剪切光栅位于投影物镜的像面，和探测器一起安装在硅片台上，通过硅片台的横向精密移动光栅实现相移功能，同时使用探测器记录相移过程中的每一帧剪切干涉图。本发明使用二维光栅实现了二维剪切，同时将相移功能集成到剪切干涉仪中，结合其相位空间矢量特性，实现了投影物镜波像差的高精度测量。