专利详情

专利名称	快速分离的微型气相色谱柱集成芯片
申请号	CN201110055612.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102680609A	公开（授权）日	2012.09.19
申请（专利权）人	中国科学院电子学研究所	发明（设计）人	崔大付;孙建海;蔡浩原;张璐璐;陈兴;任艳飞;李辉
主分类号	G01N30/06(2006.01)I	IPC主分类号	G01N30/06(2006.01)I;G01N30/54(2006.01)I
专利有效期	快速分离的微型气相色谱柱集成芯片至快速分离的微型气相色谱柱集成芯片	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种快速分离的微型气相色谱柱集成芯片，涉及气相色谱柱集成芯片技术，包括微型色谱柱、组合式微型加热器、组合式微型温度传感器、。基于MEMS技术，在硅基底上经深刻蚀或化学腐蚀形成微型色谱柱的沟道，再与玻璃键合密封形成微型色谱柱，在键合之前，先在微型色谱柱的沟道内及沟道所在基底底部集成组合式微型加热器，通过组合加热，能够实现快速升温及提高微型色谱柱的分离速度和分离性能。同时，在微型色谱柱的沟道上、下表面及沟道中集成组合式微型温度传感器，实时响应微型色谱柱内气体样品的温度，从而利于外部控制电路实时调节微型加热器的加热状态，控制微型色谱柱的温度，使微型色谱柱达到快速分离，且总体分离性能优异。