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一种绝缘体上半导体及其制备方法

  • 申请号:CN201210175117.4
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 公开(公开)号:CN102683178A
  • 公开(公开)日:2012.09.19
  • 法律状态:授权
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种绝缘体上半导体及其制备方法
申请号 CN201210175117.4 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN102683178A 公开(授权)日 2012.09.19
申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 姜海涛;薛忠营;狄增峰;张苗;郭庆磊;戴家赟
主分类号 H01L21/02(2006.01)I IPC主分类号 H01L21/02(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I
专利有效期 一种绝缘体上半导体及其制备方法 至一种绝缘体上半导体及其制备方法 法律状态 授权
说明书摘要 本发明提供一种绝缘体上半导体及其制备方法,先在第一Si衬底上的第一SiO2层刻出多个孔道,然后选择性外延Ge、SixGeyCzSn1-x-y-z、III-V族等半导体材料,填充所述孔道并形成半导体层,以获得性能优异的半导体层,在所述半导体层表面键合具有第二SiO2层的第二Si衬底,然后去除所述Si衬底并去除所述SiO2,接着填充PMMA,并在所得结构的下表面键合具有第三SiO2层的第三Si衬底,退火使PMMA膨胀以剥离上述结构,该剥离工艺简单,有利于节约成本,最后进行抛光以完成所述绝缘体上半导体的制备。本发明与现有的半导体技术兼容;通过选择性外延可降低半导体层的缺陷,有利于绝缘体上半导体性能的提高;通过PMMA退火膨胀剥离的工艺简单,有利于节约成本。本发明适用于工业生产。

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