一种真空抽气装置
- 申请号：CN201010033804.3
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院物理研究所
- 公开(公开)号：CN102117723A
- 公开(公开)日：2011.07.06
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种真空抽气装置 | ||
| 申请号 | CN201010033804.3 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN102117723A | 公开（授权）日 | 2011.07.06 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 李国强;边勇波;黎红;崔彬;王佳;郭进;何晓锋;李超;李娜;张强;李春光;张雪强;何豫生 |
| 主分类号 | H01J19/70(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J19/70(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种真空抽气装置 至一种真空抽气装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种真空抽气装置，包括真空室、真空泵及吸气剂，所述吸气剂用于高温加热激活以获得和维持容器的真空度，容置所述吸气剂的容器为独立设置在所述真空室与所述真空泵之间的吸气剂容腔，所述吸气剂容腔分别与所述真空室及所述真空泵连通。本发明使用时可以仅对有吸气剂的局部加热，让真空室及其内器件处于不受热的环境中，密封效果好，便于安装使用，便于更换，外观小巧，结构简单。 | ||
交易流程
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