专利详情

专利名称	提高超分辨相位板光斑性能的装置
申请号	CN201210138157.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102681200A	公开（授权）日	2012.09.19
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	查一昆;魏劲松;干福熹
主分类号	G02B27/48(2006.01)I	IPC主分类号	G02B27/48(2006.01)I;G02B27/58(2006.01)I;G02F1/35(2006.01)I
专利有效期	提高超分辨相位板光斑性能的装置至提高超分辨相位板光斑性能的装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种提高超分辨相位板光斑性能的装置，特征在于其构成：沿光束前进方向依次是三环纯相位型超分辨相位板、数值孔径NA=0.95的物镜、Sb2Te3非线性饱和吸收薄膜，所述的三环纯相位型超分辨相位板的归一化半径为r1=0.13，r2=0.47，r3=1；三区的位相分别为：φ1=0，φ2=π，φ3=0；所述的物镜与所述的三环纯相位型超分辨相位板紧贴，所述的Sb2Te3非线性饱和吸收薄膜位于所述的物镜的焦平面，该Sb2Te3非线性饱和吸收薄膜的厚度的选择范围为10~100nm，非线性饱和吸收薄膜的线性吸收系数和非线性吸收系数分别为α0＝5107/m和β＝-210-2m/w。本发明进一步减小光斑、降低旁瓣、延长焦深。