专利详情

专利名称	一种用于透射电镜的加速极的制造方法及其陶瓷环
申请号	CN201010262963.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101964289A	公开（授权）日	2011.02.02
申请（专利权）人	北京中科科仪技术发展有限责任公司	发明（设计）人	孙占峰;刘亚琪;巢卫中
主分类号	H01J9/14(2006.01)I	IPC主分类号	H01J9/14(2006.01)I;H01J37/065(2006.01)I
专利有效期	一种用于透射电镜的加速极的制造方法及其陶瓷环至一种用于透射电镜的加速极的制造方法及其陶瓷环	法律状态	授权
说明书摘要	一种用于透射电镜的加速极的制造方法及其陶瓷环，制造方法包括：①陶瓷环成型，采用等静压成型工艺，使陶瓷粉成型为内部中空的圆柱体状的陶瓷环；②金属化，采用厚膜工艺对成型后的所述陶瓷环进行金属化；③组装，将n个金属化后的所述陶瓷环与n+1个圆环状封接金属片同轴心且相间隔地固定组装在一起，组装后在其中一端的所述封接金属片上固定连接能与所述透射电镜其他部件装配的连接机构，形成所述加速极。所述陶瓷环具有内部中空的圆柱体外形，在所述陶瓷环的内壁沿其周向成型有向所述陶瓷环外壁凹进的凹槽。本发明的加速极制造方法及其陶瓷环，将陶瓷环成型工艺与金属化工艺相结合，能满足耐高压、抗拉强度等各种性能要求。