专利详情

专利名称	用于光刻照明的多分区光学位相板的设计方法
申请号	CN201110047072.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102109676A	公开（授权）日	2011.06.29
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	朱菁;胡中华;杨宝喜;陈明;曾爱军;黄惠杰
主分类号	G02B27/00(2006.01)I	IPC主分类号	G02B27/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	用于光刻照明的多分区光学位相板的设计方法至用于光刻照明的多分区光学位相板的设计方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种用于光刻照明的多分区光学位相板的设计方法，其特点在于该方法包括下列步骤：①计算位相单元的尺寸l；②光学位相板分区大小d的选取；③入射光束和确定所需光束的光强分布并进行矩阵化处理；④对位相板中一个分区的初始位相赋值；⑤采用迭代算法并进行离散化处理，得到该分区的位相分布；⑥逐一对每一个分区重复步骤④和步骤⑤，得到每个分区的位相分布，并组合在一起得到整体位相分布；⑦设计结果的评估。本发明设计的光学位相板具有对入射光束的位置、尺寸、形状与光强分布变化不敏感，能获得所需要的输出光强分布的特点。