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用于拓展In0.53Ga0.47As探测器及其阵列短波响应的材料体系及其制备

  • 申请号:CN201010292223.1
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 公开(公开)号:CN101976696A
  • 公开(公开)日:2011.02.16
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 用于拓展In0.53Ga0.47As探测器及其阵列短波响应的材料体系及其制备
申请号 CN201010292223.1 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN101976696A 公开(授权)日 2011.02.16
申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 顾溢;张永刚
主分类号 H01L31/10(2006.01)I IPC主分类号 H01L31/10(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I
专利有效期 用于拓展In0.53Ga0.47As探测器及其阵列短波响应的材料体系及其制备 至用于拓展In0.53Ga0.47As探测器及其阵列短波响应的材料体系及其制备 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明涉及一种用于拓展In0.53Ga0.47As探测器及其阵列短波响应的材料体系及其制备,采用禁带宽度大于In0.53Ga0.47As吸收层材料且大于常规InP的含铝砷化物材料作为上下接触层材料体系实现拓展In0.53Ga0.47As探测器及其阵列短波响应。本发明采用宽禁带透明上接触层和下接触层材料体系,可以减小表面复合并提高量子效率,可利用分子束外延方法或金属有机物气相外延方法无需As/P切换而不间断生长,有利于在生长过程中保持平整的表面态,保证材料的高质量生长,可降低器件噪声,具有很好的通用性。

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