专利详情

专利名称	一种用于准分子激光器气体管理的装置及方法
申请号	CN201110132526.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102231469A	公开（授权）日	2011.11.02
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	李斌成;王强;谢拉堂;余逸芳;文代彬
主分类号	H01S3/036(2006.01)I	IPC主分类号	H01S3/036(2006.01)I
专利有效期	一种用于准分子激光器气体管理的装置及方法至一种用于准分子激光器气体管理的装置及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种用于准分子激光器气体管理的装置及方法，所述装置包括准分子激光器、监测和控制模块、用于控制激光工作气体流向的可控电磁阀门、用于配比不同浓度激光工作气体的注气罐、用于排放激光工作气体的卤素气体处理装置和真空泵、用于监测激光工作气体压强的压力传感器。所述方法通过监测准分子激光器工作参数，如工作电压、脉冲能量、谱线线宽、波长，根据实验测得的准分子激光器工作参数与激光工作气体浓度的定量关系，估算激光工作气体的消耗量，采用压力监测和信号反馈的方法，控制激光腔内激光工作气体压强的变化以及可控电磁阀门的开启和关闭，完成向激光腔内注入精确量值的激光工作气体。本发明能够提高准分子激光器输出激光脉冲的稳定性，有效延长激光工作气体寿命，减少激光器换气次数。