专利详情

专利名称	一种动态范围可调的干涉仪
申请号	CN201010144581.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101819022A	公开（授权）日	2010.09.01
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	侯溪;伍凡;万勇建;吴永前;吴高峰
主分类号	G01B9/023(2006.01)I	IPC主分类号	G01B9/023(2006.01)I
专利有效期	一种动态范围可调的干涉仪至一种动态范围可调的干涉仪	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种动态范围可调的干涉仪包括光源、照明系统、扩束准直系统、分光系统、成像系统、PZT精密倾斜台、菲索平板、标准镜头、被测光学元件、装卡调整系统和计算机控制及数据处理系统。测试和参考光束间的倾斜在CCD像素间产生了与空间位置相关的相移，通过计算机控制安装在PZT精密倾斜台上的菲索平板倾斜角大小以控制所产生的载频干涉图的空间频率，采用基于傅立叶变换的算法和空间相移算法等多种算法进行相位解算。针对不同空间频率的载频干涉图，采用适合其频率特征的算法进行优化的相位解算，使得相位提取算法工作在最佳范围内，以实现高精度相位解算。本发明可以调整干涉仪的动态范围，具有较大的动态范围和较高的测量精度，具有较大的应用价值。