专利详情

专利名称	微透镜模具结构及其制作方法
申请号	CN201210169407.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102662305A	公开（授权）日	2012.09.12
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	徐德辉;熊斌;姚邵康;徐铭;马颖蕾;王跃林
主分类号	G03F7/00(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/00(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;G02B3/00(2006.01)I
专利有效期	微透镜模具结构及其制作方法至微透镜模具结构及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及微透镜模具结构及制作方法，包括以下步骤：在抛光的硅衬底正面和背面沉积氧化硅作为腐蚀掩膜材料，在硅衬底背面制作出腐蚀窗口图形；从所述硅衬底背面腐蚀硅衬底，形成腐蚀腔体，同时形成悬浮硅薄膜；将具有悬浮硅薄膜结构的结构衬底和支撑衬底键合形成密封腔体；将步骤（3）中获得的结构送入800°C～1200°C的高温环境中，悬浮硅薄膜发生塑性形变形成微透镜形貌腔体结构。由于直接选取抛光材料，微透镜形貌腔体具有较好的表面平整度，从而保证了微透镜腔的光学特性。本发明可以通过调节温度、压力、力载荷、薄膜厚度等方式对悬浮薄膜的塑性形变量和形貌进行控制，从而调节微透镜的形貌，增加微透镜设计的自由度。