专利详情

专利名称	氧化锌微/纳复合结构阵列薄膜及其制备方法
申请号	CN201010116594.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102167278A	公开（授权）日	2011.08.31
申请（专利权）人	中国科学院合肥物质科学研究院	发明（设计）人	段国韬;罗媛媛;刘广强;张洪文;蔡伟平
主分类号	B81B7/00(2006.01)I	IPC主分类号	B81B7/00(2006.01)I;B82B1/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;B82B3/00(2006.01)I
专利有效期	氧化锌微/纳复合结构阵列薄膜及其制备方法至氧化锌微/纳复合结构阵列薄膜及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种氧化锌微/纳复合结构阵列薄膜及其制备方法。薄膜为衬底上置有有序六方排列的单层球阵列，其中的球由介质球及其外表面依次覆有的金膜和氧化锌纳米棒/锥构成，其中，介质球的外直径为1～30μm、金膜的厚度为5～50nm，氧化锌纳米棒/锥的棒/锥轴线垂直于球心，棒/锥长为200～800nm、棒/锥直径为80～160nm、锥的锥度为3～30度；方法为先将其上带有单层晶体模板的衬底置于压力为5～10Pa下离子溅射沉积金膜，得到金膜球阵列，再将金膜球阵列置于温度为60～80℃下的氧化锌电解液中，于沉积电流密度为-0.3～-2.0mA/cm2下采用三电极法电沉积30min～4h，制得氧化锌微/纳复合结构阵列薄膜。薄膜可广泛地用于光电子器件、表面微流体、传感器等领域。