专利详情

专利名称	一种用于镀膜基片的镀膜夹具
申请号	CN201020643071.0	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN201952490U	公开（授权）日	2011.08.31
申请（专利权）人	中国科学院上海硅酸盐研究所	发明（设计）人	毛利萍;董显林;王根水
主分类号	C23C14/50(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/50(2006.01)I
专利有效期	一种用于镀膜基片的镀膜夹具至一种用于镀膜基片的镀膜夹具	法律状态
说明书摘要	本实用新型涉及一种用于夹持和保护镀膜基片的镀膜夹具，属于材料领域。本实用新型包括一上板、一下板、以及一个或多个保护帽；所述上板上设有一个或多个定位孔，所述下板上设有一个或多个与上板定位孔相对应的定位保护孔，每个定位孔和对应的定位保护孔与一个对应的保护帽相配合。所述保护帽与上板间通过螺纹连接或磁吸连接；所述上板和下板间通过螺钉、锁合或卡固连接方式组装固定为一体。本实用新型通过保护帽和下板定位保护孔将镀膜基片夹持于上下板间，由于镀膜基片的内外侧均被遮挡起来，故可轻易实现对镀膜基片内外侧的同时保护；本实用新型仅有二层板，相比现有技术更为经济，且装卸简单，镀膜过程更方便，尤其是适用于环形基片的镀膜。