专利详情

专利名称	基于微纳操作臂的多自由度近场光学显微镜
申请号	CN201210119169.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102662086A	公开（授权）日	2012.09.12
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	王瑞;谢亮;祝宁华
主分类号	G01Q60/18(2010.01)I	IPC主分类号	G01Q60/18(2010.01)I
专利有效期	基于微纳操作臂的多自由度近场光学显微镜至基于微纳操作臂的多自由度近场光学显微镜	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种基于微纳操作臂的多自由度近场光学显微镜，包括：一微纳操作臂；一石英音叉固定于微纳操作臂的前端；一近场光纤探针固定于石英音叉的一个音叉臂上；一样品扫描台位于石英音叉的下方；一正弦信号发生器的信号输出端与石英音叉的输入端相连接；一前置锁相放大器的输入端与石英音叉的输出端相连接；一控制箱其输入端与前置锁相放大器的输出端连接，其一输出端与微纳操作臂的输入端相连接，另一输出端与样品扫描台的输入端相连接；一探测器和/或光源，该探测器和/或光源与近场光纤探针相连接。其既具有超衍射极限的光学分辨能力，同时又具有大范围移动的灵活性和多自由度操作能力，占用空间小，非常便于与其他显微表征手段相结合。