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一种电阻转换存储器结构及其制造方法

  • 申请号:CN201110026033.X
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 公开(公开)号:CN102148329A
  • 公开(公开)日:2011.08.10
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种电阻转换存储器结构及其制造方法
申请号 CN201110026033.X 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN102148329A 公开(授权)日 2011.08.10
申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 张挺;朱南飞;宋志棠;刘波;吴关平;张超;谢志峰;封松林
主分类号 H01L45/00(2006.01)I IPC主分类号 H01L45/00(2006.01)I
专利有效期 一种电阻转换存储器结构及其制造方法 至一种电阻转换存储器结构及其制造方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明揭示了一种电阻转换存储器结构及其制造方法,该电阻转换存储器结构,包括:多个选通单元和多个电阻转换存储单元;其中,每一个选通单元对应两个电阻转换存储单元;所述电阻转换存储单元包括上电极、下电极和夹在所述上、下电极之间的存储材料;所述存储材料与上、下电极的接触面积不等;所述下电极周围包覆有绝缘材料,下电极形成于该绝缘材料的夹缝中,其在垂直下电极表面方向的投影为条形,条形的长宽比大于3∶1;并且所述存储材料部分或者全部嵌在所述绝缘材料之中。本发明的存储器结构具有较高的密度、较低的功耗以及较为简单的工艺,因此在器件的性能和成本上都具有明显的优势。

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