一种制备多层浮雕结构复合膜层的方法
- 申请号：CN200910243533.1
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院光电技术研究所
- 公开(公开)号：CN101792111A
- 公开(公开)日：2010.08.04
- 法律状态：实质审查的生效
- 出售价格： 面议 立即咨询
专利详情
| 专利名称 | 一种制备多层浮雕结构复合膜层的方法 | ||
| 申请号 | CN200910243533.1 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN101792111A | 公开（授权）日 | 2010.08.04 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 罗先刚;王长涛;冯沁;刘凯鹏;刘玲;潘丽;刘尧;邢卉;方亮 |
| 主分类号 | B81C1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B81C1/00(2006.01)I;B82B3/00(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种制备多层浮雕结构复合膜层的方法 至一种制备多层浮雕结构复合膜层的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种制备多层浮雕结构复合膜层的方法，其特征在于：在掩模上加工出可供沉积粒子通过的狭缝；在膜料沉积过程中移动掩模狭缝，使沉积区域在基片上移动；通过控制基片各个区域的沉积时间来控制各区域沉积的膜厚，从而对膜层的厚度分布进行调制；在基底的同一区域连续沉积多层不同膜料和厚度分布的膜层，从而得到多层浮雕结构的复合膜层。本发明在微/纳浮雕结构的制备方面具有广阔的应用前景。 | ||
交易流程
-
01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
-
05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
- 07 交付证书
过户资料
平台保障
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障
- 用户留言
暂时还没有用户留言