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小光斑物镜的检测仪

  • 申请号:CN00259520.6
  • 专利类型:实用新型
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 公开(公开)号:CN2453432
  • 公开(公开)日:2001.10.10
  • 法律状态:授权
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 小光斑物镜的检测仪
申请号 CN00259520.6 专利类型 实用新型
公开(公告)号 CN2453432 公开(授权)日 2001.10.10
申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 徐文东;干福熹;林强
主分类号 G01N13/14 IPC主分类号 G01N13/14
专利有效期 小光斑物镜的检测仪 至小光斑物镜的检测仪 法律状态 授权
说明书摘要 一种小光斑物镜的检测仪,包括由激光光源发射 的激光束照射被测物镜产生的小光斑被光纤探针的针尖探测 后由探测组件转变成电信号经前置放大器输入计算机。有白光 光源发射的白光光束透过被测物镜照射到光纤探针的针尖上, 将被测物镜的像方焦斑上的针尖反射到摄像机的接收面上。在 联接到摄像机上的监视器上能够观察到调整光纤探针针尖对 准被测物镜的状况,从而能够精确而方便地调整针尖探测的位 置。

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