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单电荷态ECR离子源

  • 申请号:CN99256174.4
  • 专利类型:实用新型
  • 申请(专利权)人:中国科学院近代物理研究所
  • 公开(公开)号:CN2440264
  • 公开(公开)日:2001.07.25
  • 法律状态:
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 单电荷态ECR离子源
申请号 CN99256174.4 专利类型 实用新型
公开(公告)号 CN2440264 公开(授权)日 2001.07.25
申请(专利权)人 中国科学院近代物理研究所 发明(设计)人 刘占稳;张子民;丁俊章;赵玉彬;雷海亮;曹云;张雪珍;赵红卫;王义芳
主分类号 H01J37/08 IPC主分类号 H01J37/08
专利有效期 单电荷态ECR离子源 至单电荷态ECR离子源 法律状态
说明书摘要 本实用新型涉及一种单电荷态ECR离子源,包括 微波窗、磁场、弧腔、等离子体电极、吸极、绝缘环和法拉第 筒;磁铁部分为永磁体,在弧腔内设有双层水冷;在微波窗前设有 微波产生及传输装置;本实用新型利用双层水冷弧腔来冷却永 磁体可避免对永磁体的腐蚀,另用永磁体代替线包,可减少调节 量、降低造价,另采用结构简单的微波产生及传输系统可大大降 低成本。

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