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一种测量激光束径的系统和方法

  • 申请号:CN200910080129.7
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院物理研究所
  • 公开(公开)号:CN101839761A
  • 公开(公开)日:2010.09.22
  • 法律状态:授权
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种测量激光束径的系统和方法
申请号 CN200910080129.7 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN101839761A 公开(授权)日 2010.09.22
申请(专利权)人 中国科学院物理研究所 发明(设计)人 凌林;郭红莲;李兆霖;黄璐;张道中;李志远
主分类号 G01J1/00(2006.01)I IPC主分类号 G01J1/00(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I
专利有效期 一种测量激光束径的系统和方法 至一种测量激光束径的系统和方法 法律状态 授权
说明书摘要 本发明提供一种测量激光束径的系统和方法,其包括:电动可变光阑、激光功率计、分析和控制装置;所述激光功率计包括功率计探头、功率计控制器;所述电动可变光阑垂直于所述激光的传输方向放置在待测量的位置处,并且所述电动可变光阑、所述功率计探头在所述激光的传输方向上沿所述激光主轴顺序放置,且所述电动可变光阑的通光孔中心对准所述激光主轴,使激光能够通过电动可变光阑的通光孔照射在所述功率计探头上;所述分析和控制装置与所述电动可变光阑电通信,接收关于电动可变光阑孔径的信息并控制所述电动可变光阑的孔径变化;所述分析和控制装置与所述功率计控制器电通信,接收所述功率计测得的激光通过功率。

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