激光激振测振仪
- 申请号:CN99251921.7
- 专利类型:实用新型
- 申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号:CN2397483
- 公开(公开)日:2000.09.20
- 法律状态:授权
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专利详情
专利名称 | 激光激振测振仪 | ||
申请号 | CN99251921.7 | 专利类型 | 实用新型 |
公开(公告)号 | CN2397483 | 公开(授权)日 | 2000.09.20 |
申请(专利权)人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明(设计)人 | 陈高庭;方祖捷;王向朝;瞿荣辉;蔡海文;耿建新 |
主分类号 | G01H9/00 | IPC主分类号 | G01H9/00 |
专利有效期 | 激光激振测振仪 至激光激振测振仪 | 法律状态 | 授权 |
说明书摘要 | 一种激光激振测振仪,包括产生调制激振光束的 激振光源和产生光强恒定测振光束的测振光源,光纤合波器,合 束光纤,光电探测器,光纤复用器和端面对准被测样品并具有正 弦相位调制的光纤探头。激振光束使被测样品产生振动,测振光 束射到被测样品表面反射返回的光束和光纤探头端面反射返 回的光束产生干涉,由此可同时测得振动频率和振动幅度。本实 用新型具有多功能,非接触式,小型化,一体化,稳定性好,测量精 度高的特点。 |
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