一种光栅线位移传感器
- 申请号：CN201010574909.X
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 公开(公开)号：CN102095378A
- 公开(公开)日：2011.06.15
- 法律状态：授权
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专利详情
| 专利名称 | 一种光栅线位移传感器 | ||
| 申请号 | CN201010574909.X | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN102095378A | 公开（授权）日 | 2011.06.15 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 张吉鹏;孟辉;吴宏圣;曾琪峰;孙强 |
| 主分类号 | G01B11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/02(2006.01)I;G01D3/036(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种光栅线位移传感器 至一种光栅线位移传感器 | 法律状态 | 授权 |
| 说明书摘要 | 本发明涉及一种光栅线位移传感器。一种光栅线位移传感器，其包括标尺光栅、沿标尺光栅移动的滑架、设置在滑架上的光源、指示光栅和探测器，该光源发出的光线依次经过该标尺光栅及该指示光栅，形成特定的光信号，该探测器捕捉该光信号进行光电转化，从而完成位移量到光电信号的转换。该指示光栅上设置多个窗口，每一窗口内均刻划有多条刻线形成的图案，该每一刻线方向与该测量方向成一不为90°的夹角。该光栅线位移传感器能提高光电信号质量。 | ||
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