专利详情

专利名称	一种基于微机电技术的硅压阻式风速风向传感器
申请号	CN200710098681.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101294977	公开（授权）日	2008.10.29
申请（专利权）人	中国科学院电子学研究所	发明（设计）人	陈德勇;赵湛
主分类号	G01P5/08(2006.01)I	IPC主分类号	G01P5/08(2006.01)I;G01P13/02(2006.01)I
专利有效期	一种基于微机电技术的硅压阻式风速风向传感器至一种基于微机电技术的硅压阻式风速风向传感器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开一种基于微电子机械技术的硅压阻式风速风向传感器，由绝缘衬底和四个相同旋转对称分布的风速测量单元组成，分别检测风速在相互正交的两个方向上的分量。每个风速测量单元由电极、机械锚点、硅压敏电阻梁、硅支撑梁以及硅悬臂梁组成。当风从表面吹过时，悬臂梁作为感风元件，受到垂直于悬臂梁的气流的作用力而产生形变，通过硅压敏电阻梁、硅支撑梁以及硅悬臂梁组成的微型杠杆结构，以轴向应力的形式作用于硅压敏电阻梁上，引起硅压敏电阻阻值的变化。检测每个风速测量单元压敏电阻的变化，可以检测风速的大小和风速的方向，差分检测来实现二维风速和风向测量，具有制作简单，灵敏度高和较好的抗干扰能力。