专利详情

专利名称	控制生长多层膜制作多级微反射镜的方法
申请号	CN200810050789.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101290363	公开（授权）日	2008.10.22
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	梁静秋;王波;梁中翥;徐大伟
主分类号	G02B5/08(2006.01)I	IPC主分类号	G02B5/08(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;G02B1/10(2006.01)I
专利有效期	控制生长多层膜制作多级微反射镜的方法至控制生长多层膜制作多级微反射镜的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种控制生长多层膜制作多级微反射镜的方法，该方法包括下列步骤：制作基片并进行清洗处理；用第一块光刻版光刻形成所需掩蔽图形，第一块光刻版明条纹和暗条纹的宽度各为L/2¹；然后沉积镀膜材料，剥离光刻胶及其上的薄膜，形成多级膜层台阶；按上述方法依次制作各膜层台阶，第n块光刻版明条纹和暗条纹的宽度各为L/2ⁿ，直至达到所需级数，完成多级微反射镜基底的制作；用制作完成的多级微反射镜基底作为模板制作模具，然后用模铸方法制成多级阶梯结构；在多级阶梯结构或多级微反射镜基底的表面镀增反膜层。本发明有效提高了阶梯纵向尺寸精度及重复性，工艺可控性强，重复性好，不用化学腐蚀，减少了污染。