一种MBE同质外延生长SrTiO3薄膜的装置及方法
- 申请号：CN201110447744.4
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院物理研究所
- 公开(公开)号：CN102492984A
- 公开(公开)日：2012.06.13
- 法律状态：实质审查的生效
- 出售价格： 面议 立即咨询
专利详情
| 专利名称 | 一种MBE同质外延生长SrTiO3薄膜的装置及方法 | ||
| 申请号 | CN201110447744.4 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN102492984A | 公开（授权）日 | 2012.06.13 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 杨芳;汪志明;石刘;冯加贵;郭建东 |
| 主分类号 | C30B23/02(2006.01)I | IPC主分类号 | C30B23/02(2006.01)I;C30B29/32(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种MBE同质外延生长SrTiO3薄膜的装置及方法 至一种MBE同质外延生长SrTiO3薄膜的装置及方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明提供一种MBE同质外延生长SrTiO3薄膜的方法，包括：1)在氧气氛中于SrTiO3衬底的(110)面上共沉积Ti和Sr，同时对样品进行反射式高能电子衍射的原位实时监测；2)根据反射式高能电子衍射的特征衍射条纹的亮度变化来调整Ti和Sr的束流比例，使薄膜表面的重构与衬底表面的重构相同。 | ||
交易流程
-
01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
-
05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
- 07 交付证书
过户资料
平台保障
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障
- 用户留言
暂时还没有用户留言