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绝对式光栅尺

  • 申请号:CN201010575398.3
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  • 公开(公开)号:CN102095379A
  • 公开(公开)日:2011.06.15
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 绝对式光栅尺
申请号 CN201010575398.3 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN102095379A 公开(授权)日 2011.06.15
申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 曾琪峰;乔栋;孙强
主分类号 G01B11/02(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/02(2006.01)I;G01D5/347(2006.01)I
专利有效期 绝对式光栅尺 至绝对式光栅尺 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明涉及一种绝对式光栅尺,其包括一标准光栅、一光电探测器、及一光源,其中,该绝对式光栅尺进一步包括一扫描掩膜,该光源发出光线,经由该扫描掩膜射入该标准光栅,该光电探测器接收到绝对位置信号、参考位置信号及细分信号。该参考位置信号包括两路,其中一路为二半透光信号的组合,另一路为一完全不透光信号和一完全透光信号的组合。该绝对式光栅尺具有读数电路简单的优点。

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