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用于相变存储器的Sb2Tex-SiO2纳米复合相变材料及制备方法

  • 申请号:CN201010569991.7
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 公开(公开)号:CN102487119A
  • 公开(公开)日:2012.06.06
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 用于相变存储器的Sb2Tex-SiO2纳米复合相变材料及制备方法
申请号 CN201010569991.7 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN102487119A 公开(授权)日 2012.06.06
申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 宋志棠;朱敏;吴良才;饶峰;张挺
主分类号 H01L45/00(2006.01)I IPC主分类号 H01L45/00(2006.01)I
专利有效期 用于相变存储器的Sb2Tex-SiO2纳米复合相变材料及制备方法 至用于相变存储器的Sb2Tex-SiO2纳米复合相变材料及制备方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明公开了一种用于相变存储器的-纳米复合相变材料,该材料由相变材料与复合而成,其化学式为,其中,。本发明通过在相变材料中掺入,使得具有可逆相变能力的相变材料被非晶态隔离成纳米尺度的区域,形成复合结构;提升了相变材料的电阻率和结晶温度,降低了相变材料热导率。相变材料的晶态电阻的增加,可以降低相变存储器件的Reset电流,从而克服了相变材料Reset电流过大的障碍;结晶温度的升高可以提升-相变材料器件的稳定性,熔化温度的下降则有效降低了其功耗;而热导率的降低,则可以提高能量的利用率。

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