专利详情

专利名称	新型球面绝对测量系统及方法
申请号	CN201010586838.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102095385A	公开（授权）日	2011.06.15
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	杨鹏;伍凡;侯溪;万勇建
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I;G01B9/023(2006.01)I
专利有效期	新型球面绝对测量系统及方法至新型球面绝对测量系统及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明是一种新型球面绝对测量系统及方法，系统包括含有计算机、光源、分光单元、滤波器、标准物镜、被测球面反射镜、电控平移台及数据采集传输单元；首先通过电控平移台调整被测球面反射镜位于标准物镜的共焦位置处，通过计算机控制Fizeau干涉仪在该位置对被测球面反射镜进行一次面形检测并将该检测数据存于计算机中，然后通过计算机控制电控平移台，使待测反射镜绕焦点相对于干涉仪光轴分别产生Δx和Δy的共焦剪切，利用干涉仪又分别进行两次检测并将这两次的检测数据存于计算机中，三次检测的面形数据由安装在计算机上的数据处理软件把被测反射镜面形数据与系统误差和参考面的误差分离开来，从而获得被测待光学镜面的绝对面形信息。