专利详情

专利名称	扇形离轴非球面拼接测量系统
申请号	CN200810113461.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101285734	公开（授权）日	2008.10.15
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	侯溪;伍凡;陈强;雷柏平
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I;G01M11/00(2006.01)I
专利有效期	扇形离轴非球面拼接测量系统至扇形离轴非球面拼接测量系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	扇形离轴非球面拼接测量系统，包括菲索型干涉仪、被测扇形离轴非球面镜、电控平移台及计算机控制系统；通过计算机控制电控平移台移动菲索型干涉仪主机，使得标准镜头产生的不同曲率半径的参考球面波前，与被测扇形离轴非球面相应的扇形区域相匹配，通过安装在计算机系统上的菲索型干涉仪的数据处理软件把可分辨干涉条纹对应的相位数据提取出来；由扩展的扇形子孔径“拼接”算法对所得到的子孔径测试数据进行全孔径波前重构，从而获得被测非球面面形信息；本发明无需特殊的辅助光学元件就能实现适当偏离量的扇形离轴非球面的低成本检测，具有较大的应用价值。