专利详情

专利名称	L形梁压阻式微加速度计及其制作方法
申请号	CN200810037511.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101271124	公开（授权）日	2008.09.24
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	熊斌;高廷金;车录锋;王跃林
主分类号	G01P15/12(2006.01)I	IPC主分类号	G01P15/12(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I
专利有效期	L形梁压阻式微加速度计及其制作方法至L形梁压阻式微加速度计及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种L梁压阻式微型加速度计及其制作方法，包括支撑主框架体、弹性梁、质量块、盖板等，其特征在于所述的汤型梁呈L形，L形弹性梁的长臂与支撑主框架体的边框相连，质量块通过L形弹性梁支撑悬于支撑边框体的中间，L形弹性梁的短臂与质量块上表面的顶角相连；支撑主框架体的上、下两面粘合有盖板；L形梁的长臂的根部和顶端各设置有压敏电阻，每根L形梁上的两个阻值相等的压敏电阻组成惠斯顿电桥的单边应变的电桥。采用微电子机械加工技术作为关键制作技术。解决现有压阻式微加速度计不能同时满足灵敏度高、体积小、成本低、交叉干扰小、易于加工的问题。