专利详情

专利名称	可用于低反射率光学球面面形检测的偏振点衍射干涉系统
申请号	CN201010224868.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101915556A	公开（授权）日	2010.12.15
申请（专利权）人	浙江大学;中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	杨甬英;王道档;刘东;卓永模;许嘉俊;吴永前
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	可用于低反射率光学球面面形检测的偏振点衍射干涉系统至可用于低反射率光学球面面形检测的偏振点衍射干涉系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种可用于低反射率光学球面面形检测的偏振点衍射干涉测量系统。由于实际抛光加工过程中光学球面的反射率低，高精度干涉检测系统需要具有条纹对比度可调的功能，以得到理想的干涉条纹对比度。本发明解决了在保证球面面形检测精度的同时，实现干涉条纹对比度可调的问题。本发明的技术特点在于：基于可实现高精度检测的点衍射干涉系统，通过引入偏振光学元件调整光束偏振态，建立可实现调节干涉条纹对比度的偏振点衍射干涉系统；通过对干涉系统中各元件的功能特点分析，提出了相应的结构设计及系统误差校正方法，以实现高精度的球面面形检测。本发明为低反射率光学球面面形的高精度检测提供了一种可行的检测方法。