专利详情

专利名称	大型板式PECVD设备真空腔室的迷宫进气装置
申请号	CN201120446580.9	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN202323018U	公开（授权）日	2012.07.11
申请（专利权）人	中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司	发明（设计）人	张振厚;赵崇凌;李士军;张健;张冬;洪克超;徐宝利;钟福强;陆涛;许新;王刚;刘兴;郭玉飞;王学敏;李松
主分类号	C23C16/455(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/455(2006.01)I
专利有效期	大型板式PECVD设备真空腔室的迷宫进气装置至大型板式PECVD设备真空腔室的迷宫进气装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型涉及进气装置，具体地说是一种大型板式PECVD设备真空腔室的迷宫进气装置，安装在真空腔室上，包括第一、二回填分气板、回填分气管、进气法兰、短管对焊接管及密封紧固件，进气法兰安装在真空腔室上，短管对焊接管位于真空腔室外，回填分气管、第一、二回填分气板均位于真空腔室内，短管对焊接管的一端与回填分气管的一端通过进气法兰相连，短管对焊接管的另一端通过密封紧固件接有进气管路，回填分气管的另一端安装有第二回填分气板，其上设有第一回填分气板，第一、二回填分气板之间的空间为进气缓冲区。本实用新型可对回填气体起到缓冲作用，实现真空腔室内均匀回填气体，从而避免由于直接进气过快造成电池从载板滑落等状况。