
测量封装功率器件芯片面积的方法
- 申请号:CN201310009394.2
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
- 公开(公开)号:CN103090839A
- 公开(公开)日:2013.05.08
- 法律状态:授权
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专利详情
专利名称 | 测量封装功率器件芯片面积的方法 | ||
申请号 | CN201310009394.2 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN103090839A | 公开(授权)日 | 2013.05.08 |
申请(专利权)人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明(设计)人 | 肖超;王立新 |
主分类号 | G01B21/28(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B21/28(2006.01)I |
专利有效期 | 测量封装功率器件芯片面积的方法 至测量封装功率器件芯片面积的方法 | 法律状态 | 授权 |
说明书摘要 | 本发明提供了一种测量封装功率器件芯片面积的方法,包括:测量封装功率器件的加热响应数据;将加热响应数据转换为温度对开平方根时间的数据,并拟合温度对开平方根时间的数据;根据拟合结果确定芯片面积。本发明通过测量加热响应数据,将其转换为温度对开平方根时间的数据,并拟合温度对开平方根时间的数据来最终计算出芯片面积,可以避免传统方法中使用的复杂的反卷积算法,以及该算法引入的相关误差。 |
交易流程
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