专利详情

专利名称	晶体管及其制造方法
申请号	CN201010622874.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102569396A	公开（授权）日	2012.07.11
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	梁擎擎;钟汇才;朱慧珑
主分类号	H01L29/78(2006.01)I	IPC主分类号	H01L29/78(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I
专利有效期	晶体管及其制造方法至晶体管及其制造方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及晶体管以及所述晶体管的制造方法。根据本发明实施例的晶体管可以包括：衬底，所述衬底至少包括顺序堆叠的晶体管的背栅、绝缘层和半导体层，其中所述晶体管的背栅用于调节所述晶体管的阈值电压；形成在所述半导体层上的栅极叠层，所述栅极叠层包括栅极电介质和形成在该栅极电介质上的栅电极；形成在所述栅极叠层的侧壁上的侧墙隔离层；以及分别位于所述栅极叠层两侧的源区和漏区，其中，所述栅极叠层的高度小于所述侧墙隔离层的高度。所述晶体管使得栅极叠层的高度得以降低并由此改善了晶体管的性能。