专利详情

专利名称	一种铜铟镓硒薄膜的硒化处理装置、方法及铜铟镓硒薄膜器件
申请号	CN201310018690.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103088301A	公开（授权）日	2013.05.08
申请（专利权）人	中国科学院过程工程研究所	发明（设计）人	王文忠;王志;段东平
主分类号	C23C14/24(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/24(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;H01L31/032(2006.01)I
专利有效期	一种铜铟镓硒薄膜的硒化处理装置、方法及铜铟镓硒薄膜器件至一种铜铟镓硒薄膜的硒化处理装置、方法及铜铟镓硒薄膜器件	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种铜铟镓硒薄膜的硒化处理装置、方法及铜铟镓硒薄膜器件。所述装置包括石英管，所述石英管内部设有硒化单元，所述硒化单元包括通过隔热材料相连接的硒源凹槽和CIGS薄膜凹槽，两凹槽上方设有防护罩，所述防护罩与两凹槽之间形成密闭空间。将固态硒源和CIGS薄膜分别放入硒源凹槽和CIGS薄膜凹槽中，然后抽真空，加热，进行硒化处理。本发明硒化处理装置和方法具有硒蒸气泄露少、硒化效率高，可以同时处理多个样品等优点，有利于稳定、批量制备CIGS薄膜太阳能电池器件。