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一种罗茨和爪式转子组合多级干式真空泵

  • 申请号:CN201120446772.X
  • 专利类型:实用新型
  • 申请(专利权)人:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
  • 公开(公开)号:CN202326246U
  • 公开(公开)日:2012.07.11
  • 法律状态:
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种罗茨和爪式转子组合多级干式真空泵
申请号 CN201120446772.X 专利类型 实用新型
公开(公告)号 CN202326246U 公开(授权)日 2012.07.11
申请(专利权)人 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 发明(设计)人 雷震霖;王光玉;刘在行
主分类号 F04C25/02(2006.01)I IPC主分类号 F04C25/02(2006.01)I
专利有效期 一种罗茨和爪式转子组合多级干式真空泵 至一种罗茨和爪式转子组合多级干式真空泵 法律状态
说明书摘要 本实用新型涉及真空泵技术领域,具体的说是一种罗茨和爪式转子组合的多级干式真空泵。该泵由变频电机、主从动轴、一级罗茨主从动转子、四级爪式主从动转子、五个泵腔、排气腔、轴承腔、油箱、齿轮箱、主从动齿轮构成,其中电机有水冷,泵腔外底部固定有水循环冷却管;共有5级腔体,每级腔体中通过一定的气体流道相通;本实用新型转速高,体积小重量轻,一级罗茨转子和四级爪式转子组合,罗茨转子为高真空吸气级,爪形转子为压缩排气级,可以在低入口压力下获得大的抽气速率,增大压缩比提高极限真空度,节约能源,在抽速相同的情况下减小了泵的体积和重量,同时降低了气流脉动冲击,减小噪音,并且实现直排大气,不需要接前级泵即可工作。

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