专利详情

专利名称	光子筛及其制作方法
申请号	CN201110286868.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103018808A	公开（授权）日	2013.04.03
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	李海亮;史丽娜;朱效立;李冬梅;谢常青;刘明
主分类号	G02B5/18(2006.01)I	IPC主分类号	G02B5/18(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I
专利有效期	光子筛及其制作方法至光子筛及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明实施例公开了一种光子筛及其制作方法。所述光子筛包括：透光衬底；位于所述透光衬底上的不透光多层膜，所述不透光多层膜包括多层相间设置的金属膜和介质膜；设置在所述不透光多层膜上、呈多个环带状分布的多个小孔，每一环带上的多个小孔随机分布且彼此不重叠。本发明所提供的光子筛由于在透光衬底上设置有多层相间排列的金属膜和介质膜，且在所述多层相间排列的金属膜和介质膜内设置有呈环带状分布的多个小孔，因此，当光照射在所述光子筛上时，在金属膜和介质膜的表面等离子体极化和表面等离子体耦合将得到增强，从而有效地提高了光的透过率，进而提高了光子筛的衍射效率。