专利详情

专利名称	一种MEMS红外发射式气敏传感器
申请号	CN201010145221.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102213673A	公开（授权）日	2011.10.12
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	高超群;景玉鹏
主分类号	G01N21/35(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/35(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I
专利有效期	一种MEMS红外发射式气敏传感器至一种MEMS红外发射式气敏传感器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种MEMS红外发射式气敏传感器，通过激发待测气体发光，分析其发射谱判断气体种类，并通过测量吸光度确定该气体的浓度，包括集成在硅衬底上的气体发光管(1)、吸收气室(2)、发射谱分光阵列(3)、吸收谱分光阵列(4)、发射谱检测阵列(5)和吸收谱检测阵列(6)；其中，所述气体发光管(1)位于吸收气室(2)的中部，吸收气室(2)的两端分别安装有发射谱分光阵列(3)和吸收谱分光阵列(4)，发射谱分光阵列(3)的外侧进一步安装有发射谱检测阵列(5)，吸收谱分光阵列(4)的外侧进一步安装有吸收谱检测阵列(6)。利用本发明，满足了人们对于气体分析准确、便捷、低成本的要求。