一种硅的氧化钝化方法及钝化装置
- 申请号：CN201110376438.6
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院物理研究所
- 公开(公开)号：CN102427097A
- 公开(公开)日：2012.04.25
- 法律状态：专利实施许可合同备案的生效、变更及注销
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专利详情
| 专利名称 | 一种硅的氧化钝化方法及钝化装置 | ||
| 申请号 | CN201110376438.6 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN102427097A | 公开（授权）日 | 2012.04.25 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 王燕;刘尧平;梅增霞;杜小龙 |
| 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种硅的氧化钝化方法及钝化装置 至一种硅的氧化钝化方法及钝化装置 | 法律状态 | 专利实施许可合同备案的生效、变更及注销 |
| 说明书摘要 | 本发明提供一种硅的氧化钝化方法，其特征在于利用臭氧对硅的表面进行氧化钝化。本发明还提供了一种用于钝化硅的钝化装置。本发明提供的钝化方法不仅降低了氧化钝化处理的温度，有效地增加了少数载流子的寿命，而且也提高了钝化膜二氧化硅薄膜的质量。 | ||
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
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05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
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过户资料
平台保障
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