专利详情

专利名称	一种可降低自驱动Leidenfrost液滴临界温度的复合膜及其制备方法
申请号	CN201110302105.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102423928A	公开（授权）日	2012.04.25
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	奉若涛;乌学东;赵文杰;薛群基
主分类号	B32B15/04(2006.01)I	IPC主分类号	B32B15/04(2006.01)I;B32B15/20(2006.01)I;B32B9/04(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I
专利有效期	一种可降低自驱动Leidenfrost液滴临界温度的复合膜及其制备方法至一种可降低自驱动Leidenfrost液滴临界温度的复合膜及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种可降低自驱动Leidenfrost液滴临界温度的复合膜及其制备方法。采用线切割工艺在基底材料上切割形成锯齿形波纹化表面，然后利用磁控溅射技术在基底波纹化表面上溅射构建铝结构层，最后使用线性离子束混合磁控磁控溅射技术在铝结构层上制得含有金属过渡层的复合膜，所得复合膜表面可明显降低热表面上液滴自驱运动的Leidenfrost临界激发温度，因而可用于各种精密热控器件内表面，特别是要求在较低温度区间激发液滴自驱运动的场合，包括但不限于功能微流体、芯片分析、芯片合成实验室的流体运动温控表面修饰。