专利详情

专利名称	一种高分辨率投影光学系统
申请号	CN201210132632.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102662307A	公开（授权）日	2012.09.12
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	白瑜;邢廷文;朱红伟;廖志远;刘志祥
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G02B13/00(2006.01)I;G02B13/22(2006.01)I;G02B13/18(2006.01)I
专利有效期	一种高分辨率投影光学系统至一种高分辨率投影光学系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提出了一种高分辨率投影光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该高分辨率投影光学系统，沿其光轴方向包括第一透镜单元(L1)、第二透镜单元(L2)、第三透镜单元(L3)和第四透镜单元(L4)。从光束入射方向依次排布的第一透镜单元(L1)具有负折光力，第二透镜单元(L2)具有正折光力，第三透镜单元(L3)具有负折光力，第四透镜单元(L4)具有正折光力。且所述的投影光学系统中含有4个非球面。本发明的高分辨率投影光学系统能更好的提供像质、缩短总长、减小透镜口径、提升系统分辨率。