专利详情

专利名称	一种消除或减小激光外差干涉法中非线性误差的方法
申请号	CN201010228993.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101893448A	公开（授权）日	2010.11.24
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	孙强;李也凡
主分类号	G01D3/028(2006.01)I	IPC主分类号	G01D3/028(2006.01)I;G01D3/032(2006.01)I;G02B5/30(2006.01)I;G02B27/10(2006.01)I
专利有效期	一种消除或减小激光外差干涉法中非线性误差的方法至一种消除或减小激光外差干涉法中非线性误差的方法	法律状态	授权
说明书摘要	本发明消除或减小激光外差干涉法中非线性误差的方法属于精密测量技术中的光外差干涉法技术领域，该方法是：在参与干涉的激光光束中，加入经过幅值调整和相位调整的新的光线，该新光线与生成非线性误差的光信号频率相同、振幅相同、相位相反，以抵消生成非线性误差的光信号对激光外差干涉法的干扰。本发明的有益效果是：该方法能够有效地消除或降低非线性误差，提高测量精度。