专利详情

专利名称	一种传输线自动阻抗匹配系统
申请号	CN201110353777.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103107793A	公开（授权）日	2013.05.15
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	孙小孟;李勇滔;李英杰;赵章琰;秦威;夏洋
主分类号	H03H7/40(2006.01)I	IPC主分类号	H03H7/40(2006.01)I
专利有效期	一种传输线自动阻抗匹配系统至一种传输线自动阻抗匹配系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种传输线自动阻抗匹配系统，属于半导体制造技术领域。所述系统包括：功率相位检测模块，用于检测出射频信号的幅值与相位信息；位置监测模块，用于监测阻抗匹配网络的电容值信息；控制模块，用于根据幅值与相位信息和电容值信息，生成控制信号；直流电机驱动模块，用于根据控制信号生成不同的电压信号；阻抗匹配执行模块，用于根据电压信号调整阻抗匹配网络，实现等离子体腔室与传输线的阻抗匹配。本发明提供的传输线自动阻抗匹配系统可以实时跟踪等离子体腔室阻抗变化，并自动调节阻抗匹配网络实现快速、准确地自动阻抗匹配。