专利详情

专利名称	一种亚波长光栅周期的测量器件
申请号	CN201310042037.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103076162A	公开（授权）日	2013.05.01
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	罗先刚;赵泽宇;王长涛;王彦钦;陶兴;姚纳;蒲明薄;杨欢;刘利芹;罗云飞
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	一种亚波长光栅周期的测量器件至一种亚波长光栅周期的测量器件	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种亚波长光栅周期的测量器件，由标准光栅和金属介质多层膜组成，金属-介质多层膜由多层介质层和多层金属层为相间隔放置；介质层的上层位于标准光栅的下方，金属层的底层位于待测光栅上方，将电场方向与标准光栅方向垂直的线偏振入射光照射到标准光栅上，标准光栅产生多级携带高空间频率的衍射波，并通过金属介质多层膜滤波；滤过透射波与待测光栅差频形成能观测的长周期干涉条纹；最后观察测量干涉条纹并确定待测光栅周期。