专利详情

专利名称	真空泵用排气装置
申请号	CN201120056169.0	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN201934278U	公开（授权）日	2011.08.17
申请（专利权）人	中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司	发明（设计）人	张振厚;王光玉;秦柏林
主分类号	F04B37/14(2006.01)I	IPC主分类号	F04B37/14(2006.01)I
专利有效期	真空泵用排气装置至真空泵用排气装置	法律状态	授权
说明书摘要	本实用新型涉及真空泵设备，具体地说是一种真空泵用排气装置，包括外罩、排气管、传输管及进气法兰，其中排气管设置在外罩内，排气管的顶端由外罩穿出、与尾气处理装置相连接；所述传输管安装在外罩内，在外罩的外表面设有进气法兰，该进气法兰的一端与真空泵相连，另一端与外罩的内部连通；由进气法兰进入外罩内的气体经传输管、通过排气管排出至尾气处理装置。本实用新型使真空泵排出气体在外罩内迂回流动，先通过传输管后再由排气管3排出至尾气处理装置，使气体中含有的粉尘落到外罩底部，降低了排出气体中的粉尘含量，避免工艺制程中产生粉尘颗粒堵塞排气口，延长机组维护时间，降低了大抽速干泵机组噪音。