专利详情

专利名称	一种籽晶传动装置
申请号	CN201020620977.0	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN201933202U	公开（授权）日	2011.08.17
申请（专利权）人	中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司	发明（设计）人	王宏宇;郭东民;黄晓霞;张国栋;佟辉;吕琪;王尧
主分类号	C30B35/00(2006.01)I	IPC主分类号	C30B35/00(2006.01)I
专利有效期	一种籽晶传动装置至一种籽晶传动装置	法律状态	授权
说明书摘要	一种籽晶传动装置，属于真空设备技术领域。包括籽晶轴、水电连接机构、称重机构、调节平台、丝杠丝母组件和支撑机构，与调节平台固定支架连接的所述丝杠丝母组件设置在支撑机构上，丝杠与第二电机输出轴连接，还包括有与丝杠连接的辅助驱动机构，在断电时可进行手动操作。本实用新型在水电连接机构中，采用了导电滑环及旋转接头并用的结构，实现籽晶杆自转时电、水的连接。在称重机构中采用了膨胀节密封结构，使称重传感器可根据实际样品适当选择量程，使得大气下的称重传感器可精确测量真空内样品的重量。精度调节中采用了双导轨及滑块，使其运动灵活，微分头的使用不但使其操作更加方便且实现了微调，精调。支撑机构采用铝型材机构，可有效的减轻重量，且总体美观。