专利详情

专利名称	一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置和方法
申请号	CN201310032880.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103048894A	公开（授权）日	2013.04.17
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	刘广义;齐月静;张清洋;周翊;王宇
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置和方法至一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置和方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置和方法，所述装置包括光源、投影物镜、探测器、工件台和掩模板，掩模板包括多照明模式模板和测试标记，激光将该测试标记经由投影物镜成像；探测器具有参考标记和在该参考标记下方的光电传感器，测试标记进行成像的激光经过该参考标记后照射在光电传感器上；工作台承载探测器，并在水平或垂直方向能够移动，根据光电传感器输出的电信号的强度能够判断测试标记像的位置，根据表示投影物镜像差和位置偏移量关系的矩阵可在线得到所述投影物镜的波像差。本发明只需要经过一次照明和一次测量即可实现多照明模式下位置偏移量的测量，显著地提高了投影物镜波像差检测的速度。