专利详情

专利名称	坚固型双压电体并排推动的三摩擦力步进器
申请号	CN201210260297.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102856305A	公开（授权）日	2013.01.02
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	陆轻铀;王琦
主分类号	H01L25/03(2006.01)I	IPC主分类号	H01L25/03(2006.01)I;H01L41/09(2006.01)I
专利有效期	坚固型双压电体并排推动的三摩擦力步进器至坚固型双压电体并排推动的三摩擦力步进器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提出了一种坚固型双压电体并排推动的三摩擦力步进器，包括两个压电体、基座、滑杆，所述两压电体按伸缩方向平行设置并排地固定站立于基座上，构成双压电体结构。且该步进器还包括搭桥片，该搭桥片的左右两端分别固定于所述两压电体的自由端，设置与两压电体在其伸缩方向上为滑动配合的滑杆，在垂直于两压电体伸缩方向上设置将滑杆与所述搭桥片的左右两端相压的正压力以及将滑杆与基座相压的正压力，在这三个正压力对滑杆产生的最大静摩擦力中，任一个最大静摩擦力小于其它两个最大静摩擦力之和。本发明尺寸小、刚性强、摩擦力条件和最佳摩擦力条件容易得到满足，适于作为极端条件和高灵敏原子分辨率扫描探针显微镜的粗逼近马达应用。