专利详情

专利名称	一种复合相变材料靶材及其制备方法
申请号	CN200910196759.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101660119	公开（授权）日	2010.03.03
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	宋志棠;陈邦明;宋三年
主分类号	C23C14/06(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/06(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;H01L45/00(2006.01)I;G11C16/02(2006.01)I;G11C11/56(2006.01)I;G11B7/241(2006.01)I
专利有效期	一种复合相变材料靶材及其制备方法至一种复合相变材料靶材及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种复合相变材料靶材及其制备方法。该复合相变材料靶材由相变材料与另一种材料复合而成，制备时，首先将其中熔点较高的材料制备成圆柱状作为基体，采用刻蚀工艺在此基体上制备出大小形状相同且分布均匀的圆柱状小孔，然后将熔点较低的材料填充在小孔中，通过真空热压烧结工艺使两种材料结合在一起，最后采用机械抛光的方式处理表面，得到光滑、均匀致密的复合相变材料靶材。采用该方法制备的复合相变材料靶材中各成份分布均匀，组份可以根据小孔的大小和密度调解，解决了复合材料靶材各成份分布不均匀的问题；采用该靶材制备薄膜材料有利于实现两种不同材料的均匀复合，避免了多靶共溅射工艺的复杂性和不稳定性。