一种薄膜自动剥离装置
- 申请号：CN200910195164.3
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海技术物理研究所
- 公开(公开)号：CN101645396
- 公开(公开)日：2010.02.10
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种薄膜自动剥离装置 | ||
| 申请号 | CN200910195164.3 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN101645396 | 公开（授权）日 | 2010.02.10 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 王正官;王晨飞 |
| 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/78(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种薄膜自动剥离装置 至一种薄膜自动剥离装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明公开了一种薄膜自动剥离装置，它包括直流电机、拨盘、驱动板、 活塞、缸体、泵、储液盘、样品台。特点是；电机提供动力，通过机械机构由 电机的旋转运动转变为活塞在缸体内往复直线运动，缸体的一端与泵连通，在 活塞的驱动下，泵把试剂从储液盘里吸入，又喷出到样品台。台面上装有待处 理的样品，样品在试剂反复喷射的作用下，达到表面薄膜剥离的目的。 | ||
交易流程
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专利 -
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可交易 - 03 签订合同
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